英�？礗NFICON氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時出現(xiàn)故障解決辦法
1、不向細檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣，導致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問題，如果有多臺氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風不好時，致使氦氣擴散慢，也會導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。
4、工裝設計不合理導致檢漏通不過。初檢時工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設計不合理所致，比如工裝結構不合理，內(nèi)表面太粗糙，導致過多的氦氣殘留;或者密封設計不合理導致密封不可靠(由于工裝設計人員對專業(yè)真空設計不熟悉)。
5、操作不合理導致故障。如工作中，有一個大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件漏，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會發(fā)現(xiàn)，所有工件都不過。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復吸氣排氣。
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