英福康Inficon冷媒檢漏儀HLD5000故障現(xiàn)象的維修方法
1、內(nèi)漏
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部發(fā)生泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成很大的干擾，容易造成誤檢和誤判。各部件接口處的密封件。如放大器與質(zhì)量室接口、離子源與質(zhì)量室接口、分子泵與質(zhì)量室接口、標(biāo)準(zhǔn)泄漏與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件之間的橡膠圈密封，采用氦注入法尋找泄漏點(diǎn)，更換密封。
2、背景信號(hào)不穩(wěn)定
1） 如果背景信號(hào)過高，可能是環(huán)境背景受到污染。注意檢查房間是否有氦源泄漏。打開房間門窗通風(fēng)，減少環(huán)境背景。
2） 也可能是由于質(zhì)譜室的污染，背景信號(hào)太高。如果檢漏儀經(jīng)常檢測(cè)到被檢部位有油污、灰塵等雜質(zhì)較多，質(zhì)譜儀室很容易被污染，需要返廠清洗。背景信號(hào)不穩(wěn)定。檢查電源電壓是否穩(wěn)定。檢漏儀應(yīng)可靠接地。
3） 背景信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否混濁污染。
3、設(shè)備分子泵不啟動(dòng)
分子泵不啟動(dòng)，主要檢查電源和前級(jí)真空是否正常（更常見的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或無法打開導(dǎo)致分子泵無法啟動(dòng)）。或者分子泵本身被振動(dòng)和灰塵污染損壞。
4、設(shè)備質(zhì)譜室工作不正常
在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子電流，則需要更換離子源。
5、前級(jí)機(jī)械泵工作不正常
主要是觀察泵油的顏色是否正常，灰塵污染會(huì)使油變黑，水蒸氣使油變白，從而導(dǎo)致機(jī)械泵的不正常運(yùn)行。此外，溫度過低會(huì)增加機(jī)械泵油的粘度，使其無法起動(dòng)。溫度過高也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保護(hù)而停止工作。最好使用+10到+40之間的機(jī)械泵環(huán)境溫度。
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