安捷倫HLD PD03氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障原因及維修
氦質(zhì)譜檢漏儀機(jī)械泵故障及處理：
1、機(jī)械泵不動(dòng)作
檢查項(xiàng)目有：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。
2、機(jī)械泵聲音異常
檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過(guò)濾器的出口有無(wú)氣體排出(如果無(wú)氣體排出，更換油霧過(guò)濾器)。
氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理：
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作
有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理：
1、燈絲無(wú)法正常啟動(dòng)，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無(wú)法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，需要更換燈絲，若不開(kāi)路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。
2、本底信號(hào)處于雜亂無(wú)章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無(wú)法解決，只需對(duì)故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)開(kāi)始時(shí)出現(xiàn)的故障：
1、檢漏鍵無(wú)效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒(méi)有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒(méi)有反應(yīng)。
2、檢漏鍵無(wú)效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號(hào)，而不接受遙控器信號(hào)，檢漏鍵無(wú)效。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)出現(xiàn)的故障：
1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說(shuō)明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開(kāi)關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
2、靈敏度低。檢查三極規(guī)所測(cè)壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長(zhǎng)期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環(huán)境的污染問(wèn)題，如果有多臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風(fēng)不好時(shí)，致使氦氣擴(kuò)散慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環(huán)境的氦污染。
4、工裝設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致檢漏通不過(guò)。初檢時(shí)工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過(guò);加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因?yàn)楣ぱb設(shè)計(jì)不合理所致，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙，導(dǎo)致過(guò)多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計(jì)人員對(duì)專(zhuān)業(yè)真空設(shè)計(jì)不熟悉)。
5、操作不合理導(dǎo)致故障。如工作中，有一個(gè)大漏的工件，由于操作人員判斷錯(cuò)誤，不認(rèn)為工件漏，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀，多次對(duì)這一工件檢漏。這樣就會(huì)發(fā)現(xiàn)，所有工件都不過(guò)。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室，反復(fù)吸氣排氣。
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